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제품안내

RTA SYSTEM

  • RTA 급속진공 열처리로는 할로겐 히터를 이용하여 시편의 표면 온도를 급속하게 고온으로 올려 급속 열처리가 가능한 장비입니다.
  • 반사 효율을 높이기 위해 반사경은 Au 코팅이 되어 있으며 MFC를 이용하여 질소 가스 등을 일정하게 흘려줌으로써 RTA의 가스 분위기를 조성할 수 있습니다.
  • 일반적으로 RTA는 반도체 재료의 전기적 특성 분석을 위한 전극 재료의 코팅 후 Annealing을 위해 사용하거나 TFT 분야에서 비정질 실리콘의 열처리 조건을 바꾸어줌에 따른 결정 변화를 관찰하기위해 이용하고 있습니다.